（文/观察者网 吕栋）去年底公开其“5nm蚀刻机已获台积电认可”的中微公司，已经获得批量订单。

在中微公司（688012.SH）日前发布的2019年财报中，相比于108%的净利润增速，更值得关注的是其透露：“根据先进集成电路厂商的需求，已开发出5nm刻蚀设备用于若干关键步骤的加工，并已获得行业领先客户的批量订单。”

目前，5nm制程是集成电路制造领域最先进的工艺，虽然三星和台积电均宣称已掌握该工艺，但现在已量产出货的仅后者一家，并计划在二季度放量。

对5nm产能的争夺异常激烈。观察者网此前报道，由于海思调降向台积电的5nm订单，相关产能已被苹果“尽数吃掉”。后者还要求台积电今年第四季度追加近1万片产能，与AMD等争夺5nm产能。

中微公司招股书截图

除此之外，中微公司还公开称，其电容性等离子体介质刻蚀设备已应用于64层闪存器件的量产，正在开发新一代涵盖128层和更先进关键刻蚀应用的刻蚀设备和工艺。

而长江存储早在2018年已成为中微公司第三大客户，当时，前者占其营收比重为11%。

值得注意的是，虽然中微公司的刻蚀设备已在国际市场拥有一席之地，但全球半导体设备市场目前仍由国外厂商主导，行业呈现高度垄断的竞争格局，2018年前五大厂商占据的市场份额超过65%。

在2019年业绩说明会上，中微公司董事长尹志尧坦言：对于一些最高端的刻蚀应用，其刻蚀机还有不足的地方，还需进一步技术创新和设备的升级，该公司正在开发新一代的刻蚀机。

自去年7月登陆科创板以来，中微公司股价涨幅达97%接近翻倍，市值840亿元。今日中微公司收跌2.34%，报155.96元/股。

“5nm刻蚀设备获领先客户批量订单”

观察者网梳理发现，在集成电路产业中，设备主要包括晶圆制造设备、封装设备和测试设备等，其中晶圆制造设备的市场规模占比超过集成电路设备整体市场规模的80%。

而晶圆制造设备从类别上讲可以分为刻蚀、光刻、薄膜沉积、检测、涂胶显影等十多类，其合计投资总额通常占整个晶圆厂投资总额的75%左右，其中刻蚀设备、光刻设备、薄膜沉积设备是集成电路前道生产工艺中最重要的三类设备，三者分别占晶圆制造设备价值量的24%、23%和18%。

中微公司招股书截图

2019年财报显示，中微公司等离子体刻蚀设备已用在国内外厂商55nm到5nm的众多芯片生产线上。

据中微公司介绍，根据先进集成电路厂商的需求，其已开发出5纳米刻蚀设备用于若干关键步骤的加工，并已获得行业领先客户的批量订单。其目前正在配合客户需求，开发新一代刻蚀设备和包括更先进大马士革在内的刻蚀工艺，能够涵盖5纳米以下刻蚀需求和更多不同关键应用的设备。

2019年财报截图

值得注意的是，目前公开称掌握5nm制程的仅有台积电和三星两家。

台积电5nm工艺目前已量产出货，第二季度将扩大生产；三星预计今年6月底左右完成5nm产线建设，量产时间要等到今年底或明年初。